Microscope électronique à balayage (MEB) haute résolution
TESCAN – EDAX / MEB haute résolution – EDS – EBSD /. CLARA – EDS (Elite 70mm²) – EBSD (Velocity Super 4500fps)
Équipement acquis dans le cadre du CPER MAPE
Fiche technique
Caractéristiques essentielles
- a) Column
– Canon à électron : émission de champs FEG cathode chaude Schottky
– Lentille objective magnétique et électrostatique combinée
– Gamme de tension d’accélération : 50eV – 30 keV
– Optimisation du spot par le contrôle du diaphragme d’ouverture
– Courant de sonde: 2 pA–400 nA, ajustement continu
– Champ de vue maximum:
– 4.5 mm @ WD=10 mm (sans distortion)
– jusqu’à 17 mm @ WD=10 mm (live)
– > 50 mm @ max. WD
– Grandissement: 2× to 2,000,000×
- b) Résolution
Mode haut vide:
– 1.3 nm @ 1 keV
– 1.5 nm @ 0.5 keV
– 0.9 nm @ 15 keV
Mode pression partielle:
– 2.0 nm @ 30 keV (BSE)
– 1.8 nm @ 30 keV with GSD
– 3.0 nm @ 3 keV with GSD
- c) Chambre sous vide
GM Chambre
– Largeur: 340 mm
– Profondeur: 315 mm
– Type de suspension: active
– Caméra IR
– 2nd caméra IR dans la chambre
– Nettoyage Plasma intégré
GM Platine motorisée, 5-axes Platine Compucentrique
– Gamme de déplacement en X & Y: 130 mm
– Gamme de déplacement en Z: 100 mm
– Gamme de tilt : -70° à +90°
– Rotation: compucentrique, 360 degrés (continu)
– Hauteur maximale des échantillons: 92 mm
– Taille maximale des échantillons : 180 mm de diamètre avec mouvement XYR total sans tilt travel and rotation)
– Masse max des échantillons: 8000g ou 1000 g avec mouvement XYZRT total
- d) Modes de vide
– Haut vide: <1×10-3 Pa
– Pression partielle (N2, H20): 7-500 Pa
- e) Détecteurs et analyseurs
Dans la colonne
– Multidétecteur (MD) filtré en énergie
– Détecteur axial (Axial)
Dans la chambre
– Détecteur d’électrons secondaires (SE) Everhart-Thornley (E-T) à scintillation YAG
– Détecteur d’électrons secondaires (SE) en vide partiel Gaseous SE detector (GSD)
– Détecteur 4 quadrants d’électrons rétrodiffusés (BSE) rétractable et motorisé (4Q LE-BSE)
– Détecteur à scintillation d’électrons rétrodiffusés (BSE) rétractable et motorisé, résistant en température <1000 °C (KARMEN – Crytur)
Analyseurs
– EDS EDAX Ocatne Eline 70 mm²
– Fenêtre Si3N4 (<80 nm)
– Filtre IR en Al pour analyses en température<1000 °C
– 125 eV de résolution à la raie Mn K @ 10Kcps.
– Résolution supérieure à 90% jusqu’à 200 kcps
– Détection de carbone supérieure à 750 K cps d’entrée pour des acquisitions une cartographie ultra rapide.
– Plage de détection : Al L (73 eV) à Am
– Débit – 850 k ocps à 2,0 M icps
– Rapport hauteur de pic entre Al L et Al K est de 1: 1 à 2,5 kV
– Refroidissement : Peltier
– Insertion motorisée
– Logiciel APEX V3
– EBSD EDAX Velocity Super 4500fps
-Taux de collecte de données supérieurs à 4500 points indexés par seconde
– Capteur CMOS
– Résolution de pixels 640 (H) x 480 (V) – Résolution de 120 x 120 pixels
– Précision d’orientation inférieure à 0,1 degré
– Sensibilité : supérieure à 250 points indexés par secondes par nA
– Fonctionnement jusqu’à une tension d’accélération de 5 kV
– Glissière motorisée avec protection à vide à soufflet métallique. Insertion et rétraction motorisées.
– Compatible PRIAS ™
– Écran au phosphore, pour la détection des motifs d’EBSD jusqu’à une tension d’accélération de 5keV.
– Enduit d’aluminium réfléchissant pour analyses en température<1000 °C
– Logiciel APEX V3, OIM V9
Equipements adaptables
- Listeing ID: 13788